1981 年，立陶宛人Va s ilie v成功构造了一种可以驱动较大负载的超声电机，这种电机由Langevin振子组成的换能器作为定子，激发振动片的纵向振动，通过与转子间的摩擦来驱动转子转动。该结构不尽降低了电机工作频率，且能放大振幅，被用来驱动唱片机转盘的转动，成为当时被应用于实际的作动器。
 
1982年，日本的Sashida在Va s iliev的基础上，提出并制造了驻波型超声电机，这种电机的性能次满足了实际使用需要，但也存在着问题，接触表面上存在严重磨损。为解决这个问题，在1983年Sashida又提出并制造了另一台行波型超声电机。这种超声电机大大降低了定、转子接触面上的磨损，它的研制成功为超声电机走向应用开辟了道路。

 
1985年，日本的Kumada研制了台单相驱动具有耦合器的纵扭复合型超声电机。1987年，松下公司的Ishe等在此基础上提出了环形行波超声电机，该电机大幅提升了工作效率。同年，Sashida创立了Shinsei公司，致力于将超声电机产业化、商品化；Canon公司在其产品EOS相机的镜头自动对焦系统中植入了自行研制的环形行波超声电机，这些都标志着超声电机从研究阶段进入到实用阶段。
 
自超声电机被产品化后，对于这种崭新理念的微特电机人们投入了大量研发热情，大量基于不同原理和结构形式的超声电机随之产生。我国针对超声电机的研究工作开展于20世纪90年代，清华大学、浙江大学、吉林大学、南京航空航天大学、哈尔滨工业大学等先后开展了超声电机的研究，并取得了喜人的成果。http://www.zhsysb.com