20世纪40年代，当时的科学家发现了BaTiO3陶瓷材料（制备容易，可制成任意形状、任意极化方向的元件），这一发现极大促进了压电驱动技术的发展。1948年，Williams和Brown联合申请了个“压电马达”专利。

 
1961年，日本的Bulova公司利用音叉的往复位移运动驱动钟表的齿轮，误差只有一分钟，创造了当时记录。约10年后，Siemens和Matsushita公司联合开发了一种直线作动器，由于振幅小，无法获得大的转矩和转速。1965年，苏联的Lavrinenko提出一种超声电机并申请了发明专利，其原理是利用压电板的振动来驱动转子。
 
归纳出超声电机结构简单、成本低、低速大扭矩、单位体积能量密度大、能量转换效率高、运动等特性。1973年，IBM公司的Barth提出了具有现代超声电机原理的结构方案，他是利用压电元件使牛角楔形的振子产生振动，通过楔形端面与转子表面接触，靠摩擦作用驱动转子转动。1975年，Vishnevsky等也提出了类似的超声电机结构方案。http://www.zhsysb.com